钛靶材清洁的目的是清理目标表面可能存在的灰尘或污垢，一般可分四步清洗：
       1、清洗浸泡在丙酮中的无天鹅绒软布。
       2、类似于用酒精清洗；
       3、用去离子水清洗。用去离子水清洗后，把目标放在烤箱里，在100摄氏度下烘干30分钟。建议用"无天鹅绒布"清洁氧化物和陶瓷靶材。
       4、用高压和低湿度氩冲洗 钛靶材，除去可能在溅射系统中产生电弧的杂质颗粒。